場發射掃描式電子顯微鏡
FE-SEM 場發射掃描式電子顯微鏡
機型：Hitachi-4700，EDS機型：HORIBA
Ⅰ. 0.5~30KV
Ⅱ. 電子光源：冷場發射電子槍
Ⅲ. 放大倍率：X 10 ~ X 500k
Ⅳ. 高解像能觀察： Resolution ：1.5nm
Ⅴ. EDS分析：92≧原子序≧ 5
Ⅵ. 自動功能：對焦、像差修正、明亮、對比。
主要附件：Ⅰ. EDS（化學元素定性、定量和分佈影像分析->目前已損壞,無法使用）。
樣品準備需知：
1. 樣品面積：試片高度不得高於0.8cm，試片大小需小於直徑3.2cm
2. 為避免對超高真空造成污染，檢驗的樣品不得為高揮發性、污染性、磁性粉體等物質，且不得含有水份。
3. 使用者第一次觀察必須與儀器操作技術員討論樣品處理事宜。
收費標準：
1. 1600元/小時
2. 時段優惠：4300元/3小時
註：時間計算以試片離開腔體為基準，不足半小時者以半小時計。
線上預約申請：共用儀器服務平台
系統使用教學：儀器預約
校內使用者(教職員)：登入教師表現系統，直接點選右上「共用儀器平台」。
校內使用者(學生)：由指導教師開通權限後，以應用系統帳密登入。
聯絡人：
儀器管理員：曹秀鳳 技術員
TEL：07-6577711轉3986 Fax: 07-6578444
E-MAIL： shirleytsao@isu.edu.tw
儀器室地點：義守大學理工大樓一樓貴重儀器中心